株式会社ダン・タクマは、去る12月10日(日)に一般社団法人日本マイクロ・ナノバブル学会主催の第11回学術総会工学部会において、東北大学未来科学技術共同研究センターとの産学共同研究の成果を発表いたしました。
マイクロバブル技術を半導体洗浄に応用する為、装置自体からの汚染発生を極限まで低減させたALLフッ素樹脂製マイクロバブル発生装置の開発状況とその装置を用いて生成したオゾンマイクロバブル水によるフォトレジストの除去実験に関する発表を行いました。
弊社は、本研究の社会実装を推進し半導体の製造工程の効率化・生産性向上・環境負荷低減に貢献をしてまいります。